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中在晶圆的特定区域,比如边缘区或者某个扇形区域。
「这不可能是环境粒子污染导致的。」林薇在分析会上断言,「环境粒子应该是随机分布的,不应该有如此明显的空间规律性。」
「除非……」赵静调出小芯AI的分析报告,「除非污染源不是环境,而是工艺本身。比如,某个设备的某个部件,在特定条件下会周期性释放污染物,而这个周期与晶圆位置有关。」
团队立即展开排查。经过三天三夜的数据挖掘和实物检查,他们发现了一个令人震惊的事实:4号清洗机的喷淋臂内部,有一段长约十五厘米的管路内壁出现了微观腐蚀。腐蚀产物中含有微量的铜离子,在清洗液高速流动时会周期性脱落,形成纳米级的含铜颗粒。
而这些颗粒,在后续的旋转乾燥过程中,会因为离心力被甩到晶圆的特定位置,正是那些「偏好性缺陷」出现的区域。
「问题找到了!」梁志远兴奋地汇报,「我们更换了那段管路,重新测试,偏好性缺陷消失了!」
「但这解释不了所有问题。」张京京冷静地指出,「偏好性缺陷只占随机缺陷总数的35%,还有65%是真正的随机缺陷。」
「但至少我们解决了一部分。」金秉洙说,「而且更重要的是,这个发现证明了一件事:我们的监测和诊断能力已经提升到了新的水平。放在三周前,我们根本不可能发现这种微观尺度的周期性污染。」
倒计时:85天12小时。
第十四天,突破前夜
系统上线整整两周。这一天的生产总结会上,气氛有些微妙。
「今日流片二十片,预检测筛除率21.5%,最终电性测试良率……」负责汇报的工程师停顿了一下,「39.97%。」
四舍五入,就是40%。但就是这0.03个百分点的差距,让数字依然停留在30%的区间。
「我们已经连续四天在39.9%到40.0%之间徘徊了。」有人叹气,「就像有什麽无形的天花板在压着我们。」
林薇盯着数据曲线,突然问:「你们有没有发现一个规律?每天下午三点左右,良率数据会有一个微小但稳定的跃升;而每天上午十点左右,会有一个微小的下降。」
她调出分时段数据对比图,果然,下午时段的平均良率是40.15%,上午时段是39.82%。
「这意味着什麽?」张京京问。
「意味着我们的系统可能过度优化了。」林薇快速分析,「下午三点,通常是室外温度最高丶空调系统负荷最大的时候,环境扰动也最大。按照传统思维,这应该是污染风险最高的时段。但数据显示,这个时段的良率反而更高。」
「因为我们的主动防护系统在这个时段开启了最强模式。」赵静明白了,「而在上午时段,环境相对稳定,系统可能降低了防护等级,反而让一些漏网之鱼钻了空子。」
「所以我们要调整策略?」张京京问。
「不。」林薇摇头,「我们要更大胆。既然下午时段在最强防护下能达到40.15%的良率,那麽如果我们把全天都调整到『最强防护模式』,理论良率应该能稳定突破40%。」
「但能耗和成本会大幅增加。」设备主管提醒,「微型过滤阵列满功率运行,寿命会缩短30%;气流系统持续调整,故障率可能上升;而且有些防护措施会轻微影响工艺稳定性,比如降低传输速度会影响热预算。」
「和良率提升相比,这些成本都是次要的。」张京京果断决定,「明天开始,全天开启最强防护模式。我们要用尽全力,把良率推过40%这个坎。」
第十五天,历史性时刻
上午十一点,第三批晶圆进入电性测试。
控制室里挤满了人,不只是技术团队,连行政丶财务丶甚至安保部门都有人悄悄站在门口。所有人都知道今天意味着什麽,如果成功,这将是14nm自主化进程中的第一个实质性里程碑;如果失败,团队的士气可能遭受沉重打击。
张京京坐在控制台前,表面平静,但握着滑鼠的手心全是汗。屏幕上,测试数据正在一行行刷新:
晶圆01:通过/失效/通过/通过/失效……
晶圆02:通过/通过/通过/通过/通过……
晶圆03:通过/失效/通过/失效/通过……
每一行数据的刷新,都牵动着所有人的心跳。
十二点十七分,所有八片晶圆的初步测试完成。系统自动计算出良率,但需要人工确认。负责数据分析的工程师深吸一口气,点击了「生成报告」。
屏幕短暂黑屏,然后弹出一行数字:
批次C-0415良率:40.23%
寂静。长达三秒钟的绝对寂静。
然后,欢呼声爆发了。有人跳起来,有人拥抱,有人摘下眼镜擦拭眼角