第221章 14nm的最大敌人是时间

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线上，一旦某个关键环节被彻底卡死，我们就满盘皆输。保留百分之二十的火种，至少保证十年后还有人记得怎麽造晶片。」
    会议室陷入沉默。所有人都听懂了这句话背后的悲壮意味：这是在为最坏的情况做准备。
    倒计时数字跳动：128天07小时15分钟。
    「回到14nm良率本身。」陈醒切换屏幕，显示出当前试产线的实时数据，「京京，现在最大的瓶颈是什麽？」
    张京京调出过去一周的流片报告：「目前良率卡在百分之三十八，距离百分之七十五的成本线还差三十七个百分点。我们分析了所有失效晶片，发现三大类问题：第一，图形转移缺陷，占比百分之四十二，这与光刻胶和掩模版有关；第二，薄膜均匀性问题，占比百分之三十三，与沉积设备的工艺窗口太窄有关；第三……」
    他停顿了一下，放大了第三类缺陷的显微图像：「随机性缺陷，占比百分之二十五。表现为随机的短路丶开路丶参数漂移，没有明显规律。我们怀疑与洁净室环境有关，特别是悬浮粒子。」
    「悬浮粒子不是有监控吗？」李明哲问。
    「有，而且数据都在标准范围内。」张京京调出洁净室的粒子监测曲线，「但问题是，现有监测仪器的精度是0.1微米，而14nm工艺对0.05微米以上的粒子就敏感了。也就是说，我们可能有一批『看不见的杀手』在产线里游荡，而监测系统却显示一切正常。」
    这就像在浓雾中作战，敌人看得见你，你却看不见敌人。
    「解决方案？」陈醒言简意赅。
    「三个方向。」张京京显然已经深入思考过，「第一，升级监测系统，采购更高精度的粒子计数器，但这需要进口，时间来不及。第二，改造洁净室的空气流场设计，但那是厂房基建层面的大工程，至少三个月。第三……」
    他看向视频画面中的林薇：「林总上周提出了一个设想：用计算流体力学仿真，重建整个洁净室的微观流场，找出粒子可能聚集的『死角』，然后针对性地增加局部净化装置。」
    所有人的目光投向林薇。
    「这个方案理论上可行，但需要超算资源和精细的边界条件。」林薇调出她初步的仿真模型，「洁净室不是静止的，人员的走动丶设备的散热丶机械臂的运动都会扰动空气流场。我们需要实时监测这些扰动源，输入模型，动态计算粒子分布。这相当于给整个洁净室做一个『CT扫描』，而且是动态的。」
    「需要多少算力？」陈醒问。
    「如果用『小芯』平台现有的工业仿真模块，单次全尺寸仿真需要七十二小时，但良率攻坚等不了这麽久。」林薇报出数据，「我们需要将仿真速度提升两个数量级，这要麽需要更强的算力，要麽需要更优的算法。」
    赵静的声音突然插入，她一直在旁听，此刻才开口：「『小芯』的制造分析模块可以升级。我们最近在医疗影像识别上积累的神经网络模型，可以迁移到流场仿真中。传统CFD计算是基于物理方程离散求解，速度慢；但如果我们用深度学习，训练一个『流场预测网络』，输入边界条件，直接输出粒子分布预测，速度可以提升一千倍以上。」
    「但需要训练数据。」林薇指出关键。
    「我们可以用高精度监测设备先采集一个洁净室的完整数据作为种子。」赵静思路清晰，「虽然我们买不到最先进的监测仪，但中科院力学所有一套用于航空航天研究的『粒子图像测速系统』，精度达到0.01微米，可以借用。采集一周数据，足够训练初始模型。」
    倒计时数字跳动：128天06小时52分钟。
    「这个方案需要多长时间部署？」陈醒问。
    林薇和赵静快速估算：「设备借用和安装，三天。数据采集，七天。模型训练和验证，五天。总共十五天。」
    「太长了。」陈醒摇头，「十五天，按现在的流片节奏，我们会浪费至少三轮实验机会。而三轮实验，可能就意味着良率提升几个百分点的机会。」
    他站起身，走到环形屏幕前，看着那个鲜红的倒计时。
    「我们没有十五天可以等。但我们也需要更好的监测手段。」陈醒转过身，眼神扫过每个人，「所以，我们并行：第一，赵静立即联系华科院，今天就开始设备借用流程，数据采集明天启动；第二，林薇在现有监测数据的基础上，先用简化的流场模型做初步分析，哪怕精度不够，也要先找出最可疑的区域；第三，京京，你们产线团队不能等，从今天开始，在每一片晶圆进入关键工序前，增加一道『预检测』，用现有的检测设备做极限灵敏度测试，虽然会降低产能，但能提前筛掉一部分问题晶圆。」
    「这会降低产能百分之三十以上。」张京京提醒。
    「但我们首先要保证的是实验数据的质量，不是产能。」陈醒果断道，

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