第216章 试产线出现铜污染隐患

章节报错(免登陆)

顶点小说(biquge432.com)更新快,无弹窗!

    深度清洗后的国产高纯矽片试产线重新启动。巨大的白色机箱发出低沉的嗡鸣,监控屏幕上数据流开始滚动:温度22.1℃,湿度39%,超纯水电阻率18.2兆欧·厘米,铜离子浓度0.03ppt,低于警戒值两个数量级。
    张京京站在中央控制台前,双手抱胸,紧盯着十二块分屏上的实时参数。他身后的工程师团队鸦雀无声,所有人都知道这次重启的意义:如果清洗成功,意味着他们掌握了应对铜污染的关键技术,国产矽片的量产之路就迈过了最危险的坎;如果失败……
    「第一批矽片开始清洗工序。」操作员报告,声音在寂静的控制室里显得格外清晰。
    台湾小说网伴你闲,??????????.?????等你寻
    屏幕上,机械臂将三片十二英寸的测试用矽片送入清洗槽。超纯水以精确控制的流速冲刷着矽片表面,超声波发生器启动,发出人耳听不见的高频振动。
    「清洗液流量稳定,超声功率正常,温控在设定值±0.1℃范围内。」
    张京京的目光锁定在铜离子监测曲线上。那条绿色的线平稳得近乎完美,在0.02到0.04ppt之间轻微波动,这是环境本底水平,说明系统是乾净的。
    清洗持续了十五分钟。按照吴文山提供的方案,这是第一步「螯合剂冲洗」的时间。
    「清洗结束,开始纯水漂洗。」
    矽片被转移到漂洗槽,更高纯度的水流洗去残留的化学药剂。这是最危险的环节:如果系统里还有铜污染源,漂洗过程会将其暴露无遗。
    时间一秒一秒过去。
    控制室里只有设备运行的嗡鸣和偶尔的按键声。
    「漂洗三分钟,铜离子浓度0.05ppt。」
    「漂洗五分钟,铜离子浓度0.07ppt。」
    「漂洗七分钟,铜离子浓度0.11ppt。」
    数据在缓慢上升,但仍在安全范围内。张京京微微松了口气。按照经验,如果有污染,前五分钟就会急剧飙升。
    「漂洗十分钟,完成。矽片传送至乾燥区。」
    机械臂平稳地将矽片送出,送入氮气乾燥舱。整个过程看起来无懈可击。
    「取样检测。」张京京下令。
    三片矽片中的一片被送入旁边的快速分析室。三十秒后,初步结果在大屏上弹出:
    **表面金属污染扫描结果**
    -**铁:<0.01ppt**
    -**镍:<0.01ppt**
    -**铜:0.09ppt**
    「低于0.1ppt!」控制室里爆发出压抑的欢呼。这个数值意味着矽片表面的铜污染已经控制在工艺允许范围内,可以进行后续的氧化丶光刻等工序了。
    张京京紧绷的肩膀终于放松下来。他拿起加密电话,准备向陈醒和林薇报喜。
    但就在他的手指即将触到拨号键时,刺耳的警报声突然撕裂了控制室的平静。
    不是一声,是接连三声。
    「警报!超纯水储罐B-3铜离子浓度异常!」
    「警报!主循环泵出口监测点铜离子浓度超标!」
    「警报!矽片清洗槽回流管检测到脉冲式污染峰值!」
    张京京猛地转身,扑到控制台前。屏幕上,三条曲线同时飙升:储罐监测点的铜离子浓度从0.05ppt瞬间跳涨到2.3ppt;主泵出口从0.07ppt飙升到1.8ppt;最诡异的是清洗槽回流管的数据,它像心电图一样剧烈波动,峰值达到5.7ppt,但谷值又迅速回落到0.2ppt以下。
    脉冲式污染。
    「立即停止所有水流!关闭系统阀门!」张京京吼道,「启动应急隔离程序!」
    工程师们的手指在键盘上飞舞。屏幕上,一个个代表阀门状态的图标从绿色变成红色,水流被强制切断。但污染数据并没有立即下降,相反,在系统停滞后的三十秒内,几个监测点的浓度又出现了一次脉冲峰值,然后才缓缓回落。
    「这……这不合理。」负责水系统的刘工程师脸色苍白,「系统已经停运,没有水流,铜离子怎麽会突然出现又突然消失?除非……」
    「除非污染源本身能够主动释放。」张京京接话,声音冰冷。
    他调出系统结构图,用红色标记出刚刚出现污染的三个点:储罐B-3丶主循环泵丶清洗槽回流管。这三个点在物理位置上并不相邻,中间隔着数十米的管道和多个控制阀。
    「能同时污染这三个点的,只有两种可能。」张京京快速分析,「第一,整个系统都被污染了,但之前的清洗数据证明不是这样。第二……」
    他在图上画了一个圈,将三个点包围起来:「有一个中央控制节点,能够同时向这三个点投放污染物。」
    控制室里安静得可怕。所有人都明白这句话的含
章节报错(免登陆)
验证码: 提交关闭