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林薇坐在主位,面前摊开三份文件:一份是美国SIA限制清单的详细分析报告,一份是大陆材料所试产线的铜污染检测摘要,还有一份是昨晚与陈醒通话的加密纪要。
会议室里陆续走进八个人。除研发中心的三位本地主管外,其馀五位都是外聘的资深技术顾问,年龄都在五十岁以上,在台湾半导体产业有着三十年以上的经验。最后走进来的,正是吴文山工程师,六十二岁,头发花白但梳理整齐,穿一件浅灰色夹克,手提一个老旧的皮质公文包,神情温和而略带疲惫。
「吴工,早。」林薇起身致意,语气恭敬但不失距离感,「感谢您这麽早赶来。」
「林总客气了。」吴文山微微欠身,在预留的位置坐下,打开公文包,取出笔记本和一支老式钢笔,「材料问题事关重大,应该的。」
所有人都落座后,林薇开门见山:「各位,昨晚美国半导体行业协会的限制清单,大家应该都已经看到了。清单涉及的十二类关键材料,是我们14nm产线运转的生命线。今天这个会,就是要集思广益,寻找短期应对方案和长期替代路径。」
她示意助理分发资料:「第一部分,是清单的详细解读和我们目前的库存状况。第二部分,是已经启动的非常规采购渠道进展。第三部分,」她顿了顿,「是关于国产材料替代的现状和瓶颈。」
会议室里响起翻阅纸张的声音。几位顾问的脸色越来越凝重。
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「高纯氟化氢……我们库存只有四周用量。」一位姓陈的顾问摘下眼镜,揉了揉鼻梁,「日本昭和电工已经正式发函暂停供货,韩国SK材料虽然没明确说,但暗示『产能已排满』。台湾本地几家供应商,产能有限,而且……」
「而且他们不敢得罪美国。」林薇接话,语气平静,「所以我们不能把所有希望寄托在传统供应链上。昨晚我们已经启动了三类渠道:第一,通过东南亚的贸易公司进行转口贸易;第二,接触俄罗斯和伊朗的化工企业,评估他们的产品能否达到半导体级标准;第三,在现货市场高价扫货。」
吴文山仔细阅读着材料,突然抬头:「林总,现货市场的价格已经涨到平时的五到八倍。这样扫货,资金压力会非常大。」
「钱不是问题。」林薇回答简洁,「问题是,即使愿意出高价,也不一定能买到足够的量。而且,如果我们大规模扫货,可能会进一步推高全球价格,伤及国内其他兄弟企业。」
她看向众人:「所以今天的重点,是第三部分,国产替代。」
负责材料研发的本地主管李博士调出投影片:「根据中央研究院的规划,十二类材料中,目前有国产化能力的有五类:高纯矽片丶部分电子特气丶CMP研磨浆丶封装基板材料丶以及光刻胶配套的显影液。但问题在于,」
他切换到下一页,上面是密密麻麻的性能对比数据。
「纯度丶颗粒度丶一致性丶批次稳定性,都与进口产品有差距。」李博士指着图表,「以高纯矽片为例,国内最先进的『晶盛科技』能稳定生产8英寸丶部分12英寸矽片,但金属杂质含量比日本信越的产品高一个数量级。用于28nm以上工艺勉强可以,但14nm……」
他摇摇头,没有说下去。
会议室陷入沉默。窗外的阳光在地板上缓慢移动,空调出风口发出轻微的嗡鸣。
吴文山在这时开口了,声音平稳而清晰:「李博士,你刚才说的金属杂质含量问题,主要是哪些元素?」
「铜丶铁丶镍,尤其是铜。」李博士回答,「铜在矽中的扩散系数太高,即使只有ppt级别的污染,在高温工艺中也会扩散到整个晶圆,导致器件失效。」
「铜……」吴文山重复这个词,眼神若有所思。
林薇敏锐地捕捉到了这个细节。她顺势说:「说到铜污染,正好,今天凌晨大陆材料所发来一份紧急报告。」
她示意助理分发第四份文件。文件只有三页,标题是《国产高纯矽片试产线铜污染事故初步分析报告》。
会议室里的气氛瞬间变了。
几位顾问快速翻阅报告,脸色都变了。报告里不仅有详细的数据,还有电子显微镜拍摄的污染部件结构照片,以及那个诡异的「温-pH窗口」释放曲线。
「这……这不是普通的设备故障。」一位姓黄的顾问声音发颤,「这个滤芯的结构设计,分明就是……」
他没有说下去,但所有人都明白那个词:蓄意破坏。
吴文山看得最仔细,他几乎是贴在纸面上,用放大镜仔细查看那些结构照片。他的手微微颤抖,不是恐惧,而是一种……林薇说不清的复杂情绪。
「吴工,」林薇开口,声音放轻了些,「您在宝岛电路三十多年,经历过不少技术事故