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驱动下，最终吸附在了投影镜头最关键的中心区域。
就在此刻，EUV光源的一次曝光脉冲抵达。
13.5nm的极紫外光，以极高的能量密度照射在镜头表面。那片二氧化矽颗粒瞬间被加热到数千摄氏度，汽化丶电离，在镜头表面留下了一个微小的丶但足以毁掉整个镜组的灼伤点。
「EUV三号机台曝光剂量异常！」操作员的声音带着惊恐，「镜头传输率下降12%！自动保护停机！」
一台价值近亿美元的光刻机，就这样在几秒钟内被损坏了关键光学部件。
但这还不是最糟的。
在晶圆传送走廊，强静电场导致一台晶圆搬运机器人的伺服电机驱动器发生内部放电。虽然驱动器有防静电设计，但5000伏的电压超出了设计极限。
驱动器短路，机器人失控。
机械臂以最大加速度挥出，撞击在传送轨道上。正在传送的十二片已完成前道工序丶价值数百万美元的14nm晶圆，连带着特制的晶圆盒，从三米高的空中坠落。
晶圆盒在撞击地面的瞬间裂开，十二片晶圆像被推倒的多米诺骨牌一样滑出，在洁净室地板上碎裂丶刮擦丶污染。
「不！」监控室里有人发出一声痛苦的呻吟。
梁志远强迫自己冷静。损失已经发生，现在要做的是止损。
「设备组，立即在所有静电热点区域安装临时接地线！环境组，启动紧急空气净化，粒子浓度必须在十分钟内恢复正常！生产计划组，重新编排后续批次，评估延误影响！」
命令一条条下达。训练有素的团队开始行动。临时接地线像蛛网一样在厂房内铺设，大功率的空气净化系统全速运转，工程师们穿着无尘服冲进事故区域，开始抢救还能挽救的设备。
但梁志远知道，真正的损失已经无法挽回。那台EUV光刻机的镜头损伤，至少需要三个月的时间来修复或更换。十二片14nm晶圆的报废，直接经济损失超过两千万。更重要的是，量产进度将因此延误至少一个月，而「深红路线图」的时间表不会等待。
他拿起加密电话，拨通了陈醒的号码。电话只响了一声就被接通。
「我在监控室看到了。」陈醒的声音异常平静，「人员伤亡？」
「没有。所有人员在警报后立即疏散，只有设备损坏和晶圆损失。」
「原因？」
「强静电场，具体来源还在排查。」梁志远顿了顿，「但陈总，有些情况不正常。静电电压在几分钟内从正常值飙升到五千伏，这不符合任何已知的故障模式。而且……它似乎是从多个点同时产生的，就像整个厂房的接地系统突然失效了。」
电话那头沉默了几秒。
「金秉洙博士在吗？」陈醒问。
「在EUV光源实验室，我这就接过去。」
视频会议系统开启。金秉洙的脸出现在屏幕上，背景是「追光二期」的监控界面。
「金博士，你们的EUV光源系统刚才有没有异常？」梁志远直接问。
金秉洙的脸色很不好看：「有。在静电事故发生的同一时刻，『追光二期』记录到一次强烈的电磁脉冲干扰。不是来自设备内部，而是外部耦合进来的。我们的『起搏器』电极放电电流因此波动了15%，但控制系统及时稳住了。」
「外部电磁脉冲……」梁志远喃喃道，「林总在宝岛发现的电磁扰动？」
「可能，但强度不对。」金秉洙调出数据，「这次干扰的场强比之前监测到的高出两个数量级。而且频率特徵也不同，更像是……人为的。」
这个词让监控室里的空气凝固了。
「人为？」陈醒的声音传来。
「我不敢肯定。」金秉洙谨慎地说，「但干扰的波形有很强的规律性，像是某种调制信号。自然界的电磁扰动通常是随机的。」
梁志远立即调出全厂区的电磁环境监测数据。在事故发生的精确时刻，频谱图上出现了一个明显的尖峰，频率在1.2兆赫兹左右，正是林薇在宝岛发现的那个频率。
但这一次，尖峰的强度高了近百倍。
「陈总，我需要立即进行两件事。」梁志远说，「第一，全面检查全厂接地和防静电系统；第二，对这次电磁干扰事件进行溯源分析。」
「批准。」陈醒的回应简洁有力，「让章晴加入分析团队。另外，事故消息严格控制，对外只说设备故障需要检修。量产计划调整方案，两小时内给我。」
通话结束。梁志远开始组织事故调查组。但他不知道的是，在华夏芯谷三公里外的一栋普通写字楼里，一个伪装成通信基站维护车的设备刚刚关闭。
车厢内，两名技术人员正在拆卸一台高频电磁发射器。
「数据采集完成。」较年轻的技术员看着屏幕上的波形图，「目标厂房的电磁屏蔽效能丶接地系统