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切换至缓冲模式。」
「缓冲模式?」林薇皱眉。
「我们的偏压电源有智能保护功能。」电源工程师解释道,「如果检测到来自电网或设备内部的异常干扰,它会自动切换到一个隔离变压器缓冲回路,避免干扰传递到样品。但在切换过程中,输出电压会有一个极短暂的……相位漂移。」
相位漂移。林薇的脑海里突然闪过一个念头。
「把功率波动前后0.5秒的偏压波形完整数据调出来。」她的声音变得急促,「最高采样率的那组。」
数据被提取出来。在高速采集模式下,原本平滑的直流偏压曲线,显示出肉眼难以察觉的细节,在功率波动的瞬间,偏压信号上叠加了一个高频振荡,频率大约在1.2兆赫兹,振幅很小,只持续了五个周期。
「1.2兆赫兹……」林薇喃喃道,手指在虚拟键盘上快速计算,「这个频率对应的波长……在氮化铝中的传播特性……」
她突然停下,抬头看向约翰·陈:「我需要立即联系华夏芯谷。现在。」
二十分钟后,一场跨越海峡的视频会议紧急召开。
华夏芯谷这边,陈醒丶章晴丶金秉洙聚集在EUV光源实验室的会议室。宝岛这边,林薇丶约翰·陈和宝积电的技术团队在线。
「陈总,请章晴描述一下13.52nm异常光谱峰的特徵。」林薇开门见山。
章晴在视频那头调出数据:「异常峰出现在13.52nm波长,比标准的13.5nm偏移0.02nm。持续时间不等,从0.2秒到0.5秒,出现时间随机,没有明显规律。光谱半高宽比正常峰略窄,强度约为正常EUV辐射的千分之三。」
「0.02nm偏移……」林薇重复这个数字,「对应多少能量差?」
「大约0.014电子伏特。」章晴回答。
林薇转向宝积电的电源工程师:「你们偏压电源的高频振荡频率是1.2兆赫兹。如果这个振荡通过某种机制耦合到等离子体中,可能产生什麽效应?」
工程师愣住了:「理论上……高频振荡可能激发等离子体中的特定波模,产生参数共振。但这需要非常精确的频率匹配,而且我们的振荡振幅太小,不足以产生可观测的效应……」
「除非有放大机制。」陈醒的声音从扬声器传来,他一直在沉默地听,「林薇,你是不是怀疑,宝积电沉积设备的电源干扰,和『追光二期』的光谱异常,有共同的物理根源?」
「我需要验证一个假设。」林薇调出两份数据并列显示,左边是EUV异常光谱的时间序列,右边是宝积电沉积过程的完整监控记录,「章晴,你们能精确测量异常光谱出现的时间吗?精确到毫秒级。」
「可以。」章晴操作控制系统,「过去72小时的所有异常事件都有时间戳记录。」
「约翰,我需要TC-224实验从开始到结束,所有电源系统丶包括厂区电网的完整监控数据。特别是时间同步信号。」
约翰·陈虽然困惑,但还是指示团队调取数据。十五分钟后,一个庞大的数据集被整理出来。
林薇开始进行时间对齐分析。她将两个地点的数据流导入专业的信号处理软体,以国际原子时为基准进行同步。软体屏幕上,两条时间轴缓缓滚动,上面标注着各种事件标记。
起初,似乎没有什麽关联。宝积电的电源波动发生在凌晨两点十七分,而华夏芯谷的EUV异常光谱出现在多个随机时间点。
但林薇没有放弃。她调整了分析算法,开始寻找「时间差中的规律」,不是同时发生的事件,而是按照某种固定时间间隔重复出现的模式。
一小时后,软体弹出了一个提示框:
「发现潜在相关性。事件对时间间隔近似等于光从宝岛到合城距离除以电磁波传播速度的整数倍。置信度72%。」
实验室里所有人都屏住了呼吸。
林薇放大分析结果。屏幕上显示,宝积电电源波动事件发生的时间点,与七个小时后华夏芯谷出现的两次EUV光谱异常,存在精确的时间对应关系,时间差正好是电磁波从新竹到合城距离(约650公里)除以光速的两倍。
「两倍?」章晴不解。
「因为电磁波需要从源头传播到目的地,再被某种机制反射或散射回来。」陈醒的声音变得深沉,「这是一种……延迟共振效应。」
金秉洙博士突然拍案而起:「我明白了!如果有一个超低频的电磁扰动在传播,当它经过两个地点时,可能会与当地的设备产生相互作用。但为什麽是宝积电的电源波动影响我们的EUV光源?两地设备完全不同。」
「因为它们都工作在极端精密的电磁环境下。」林薇调出更多的环境监测数据,「看看这个,过去三天,东亚地区的电离层监测数据。这里有一个微弱的异常扰动,频率在1-3赫